VIGOR Product Express|Prietokový spínač série VEFS2

Polovodičový priemysel, ktorý je poháňaný umelou inteligenciou,-výkonnými počítačmi (HPC), automobilovou elektronikou a aplikáciami internetu vecí, prechádza rýchlou transformáciou. Tento pozoruhodný rast však priniesol aj nové prevádzkové výzvy. Keďže sa výrobné rozsahy rozširujú bezprecedentnou rýchlosťou, vysoko rizikové špeciálne plyny, ako je silán a fosfín, sa široko používajú v továrňach na výrobu polovodičov. Akýkoľvek nekontrolovaný únik plynu spôsobený prasknutím potrubia, uvoľnenými armatúrami, zlyhaním tesnenia alebo nesprávnou inštaláciou môže rýchlo prerásť do vážneho bezpečnostného incidentu, ktorý ohrozuje bezpečnosť personálu, poškodzuje dôležité výrobné zariadenia a spôsobuje nákladné neplánované prestoje. V tomto kontexte sa prepínač Excess Flow Switch (EFS) od spoločnosti VIGOUR s dizajnom čisto mechanického ovládania a výnimočnou kompatibilitou s ultra{5}}vysokou{6}}čistotou (UHP) stal nepostrádateľným bezpečnostným zabezpečením pre špeciálne systémy dodávky plynu, vrátane plynových skríň a VMB, vo výrobných linkách polovodičov po celom svete.

Hlavným princípom konštrukcie VIGOR EFS je detekovať abnormálne prietokové podmienky a spoľahlivo reagovať. Keď porucha následného potrubia spôsobí náhly a nadmerný nárast prietoku, ktorý prekročí vopred{1}}nastavený kritický bod vypnutia, zariadenie okamžite spustí signál odozvy. Tento signál sa prenáša prostredníctvom otvárania alebo zatvárania elektrických kontaktov v zabudovanom-jazýčkovom spínači, ktorý je potom synchronizovaný a odoslaný do systému SCADA alebo systému monitorovania plynu (GMS). Poskytovaním upozornení v-reálnom čase a umožnením rýchlych automatických reakcií podporuje proaktívne riadenie bezpečnosti, účinne zmierňuje potenciálne riziká a posilňuje celkovú spoľahlivosť siete na dodávku plynu.

V procesoch výroby polovodičov sa každý komponent v plynovom systéme môže stať potenciálnym zdrojom kontaminácie. Dokonca aj malé častice, kovové nečistoty alebo povrchová adsorpcia môžu ohroziť kvalitu plátku a znížiť výnosy výroby. Preto VIGOR prísne dodržiava prísne štandardy polovodičového priemyslu, aby zabezpečil čistotu materiálu, čistotu povrchu a prevádzkovú stabilitu.

Pokiaľ ide o materiálové normy, VIGOR používa výhradne nehrdzavejúcu oceľ 316L vyrobenú technológiou dvojitého tavenia VIM/VAR-. Tento pokročilý metalurgický proces výrazne znižuje kovové inklúzie a zvyškové nečistoty, čím zabezpečuje vynikajúcu odolnosť proti korózii a minimalizuje riziko kontaminácie plynom. Pri povrchovej úprave sú všetky produkty podrobené pokročilému elektrolytickému lešteniu (EP), pri zachovaní vnútornej drsnosti povrchu 5–10 μin. Takéto hladké a čisté vnútro bráni molekulám plynu v adsorpcii na vnútorné steny a eliminuje zrážanie častíc, čím podporuje stabilné a bezkontaminačné-dodávanie plynu.

Okrem toho VIGOR EFS ponúka široký výber kritických spínacích bodov a flexibilné možnosti konfigurácie, aby vyhovovali rôznym aplikačným scenárom. Prostredníctvom jednoduchého párovania parametrov môžu používatelia ľahko určiť presný model na základe konkrétnych typov plynu, podmienok prevádzkového tlaku a maximálnych povolených prietokov. Tento vysoký stupeň prispôsobenia zaisťuje presnú a spoľahlivú-ochranu proti pretečeniu pre rôzne aplikácie ultra-vysoko{4}}čistého plynu v modernej výrobe polovodičov.

  Prietokový spínač pre aplikácie s vysokým prietokom

 Dostupné s horizontálnou alebo vertikálnou hlavnou líniou

 Minimálny pokles tlaku cez zariadenie

 Nerezová oceľ SS 316L