VIGOUR>>Váš dôveryhodný partner pre pokročilé systémy dodávky plynu
V priemyselných{0}}technológiách, kde sa o presnosti, čistote a bezpečnosti nedá-vyjednávať, je spoľahlivé dodávanie plynu základom. VIGOR navrhuje a vyrába komplexné systémy dodávky plynu, ktoré spĺňajú tieto kritické požiadavky a podporujú inovácie a produktivitu v globálnych výskumných a výrobných sektoroch.
Špeciálny stojan na plyn
Séria VGR
- Nepretržitá a neprerušovaná bezpečná dodávka elektronických-plynov.
- Voliteľné funkcie odvzdušňovania a čistenia s bezpečnostným uvoľnením tlaku.
- Zváraná zostava pre čisté priestory triedy 100.
- Voliteľné riadenie PLC s komunikačným rozhraním, ku ktorému má prístup systém inteligentnej monitorovacej platformy.
- Alarm vysokého tlaku / nízkeho tlaku so zvukovými a vizuálnymi signálmi, schopný núdzového vypnutia.
- Dotykový displej pre tlak vo valci a ďalšie údaje.
- Typ: Špeciálny stojan na kontrolu plynu
- Materiál: SS 316L pre ventily a potrubné komponenty
- Použiteľné plyny: inertné plyny (Ne, Kr, Ar, He atď.)
- Spôsob dodávky plynu: Plynová fľaša
- Napájanie: 110~240VAC
- Konfigurácie: Jednovalcový-valec, dvojitý-valec
Špeciálna plynová skriňa
Séria VGC
- Typ: Špeciálna plynová skriňa
- Materiál: SS 316L pre ventily a potrubné komponenty
- Použiteľné plyny: horľavé/samozápalné-plyny, korozívne plyny, toxické plyny (napr. SiH4, HCL)
- Napájanie: 110~240V AC
- Kryt: zváraná oceľ-odolná voči korózii
- Sklenené okno: Automatické-zatváranie
- Výfukové potrubie: Horné-výfukové potrubie
- Aplikácie produktov: Univerzitné/výskumné laboratóriá; Priemyselná výroba; Fotovoltaická slnečná energia; farmaceutiká a biotechnológia; Výroba polovodičových integrovaných obvodov
- Dizajnové štandardy: Vyhovuje štandardom SEMI S2; Vyhovuje medzinárodným predpisom o požiarnej bezpečnosti budov; Maximálny pracovný tlak: 110% skúšobného tlaku
Zostavy plynových tyčí
Séria VUP
- Plynová tyč s mimoriadne vysokou čistotou pre všetky systémy delilery
100TG: Dodávka 1/4" VFS menšia alebo rovná 30 slpm
200TG: Dodanie menšie alebo rovné 300 slpm 3/8"VFS
300TG: Dodanie menšie alebo rovné 600 slpm 1/2"VFS
- Produkt je vyrobený v súlade so špecifikáciou procesu VS001A
- Vysoká presnosť ovládania
- Všetky spoje sú zvárané alebo VFS
- Možnosť manuálneho alebo pneumatického membránového ventilu
- 100 % hélium-testované na netesnosť-
- Vstupný tlak P1: 300 psig (20 barov)
- Výstupný tlak P2: Vac do 30/60/100/150 psig (1/2/4/7/10 bar)
- Materiály membránového ventilu: telo 316L; Sedlo ventilu PCTFE; Membrána Elgiloy®
- Materiály regulátora: telo 316L/316L sekundárne pretavené; Sedlo ventilu PCTFE; Membrána Hastelloy®
- Rýchlosť úniku: (do atmosféry) 1x10^-9 mbar I/s He;
(cez sedadlo) 1x10^-8 mbar I/s H
Panely na ovládanie tlaku
Séria VUP-1U
- Panely na ovládanie tlaku (jednostranný typ)
- Jednostupňový regulátor série VSR-100UBS/UCS
- Ventily s odvzdušňovacími membránami série VDV33UBS
- Vstupné procesné membránové ventily série VDV33UBS
- Orbitálne zvárané spoje čelného tesnenia VFS-
- Modulárny dizajn
- Vhodné pre vstupný tlak do 3500 psig (250 bar)
- Jednoduchá inštalácia do bezpečnostnej skrine na plynové fľaše
- 100% hélium testované na netesnosť
- Vstupný tlak P1: max.3500 psig (250bar)
- Výstupný tlak P2: Vac do 10/30/60/100/150 psig (0,7/2/4/7/10 barov)
- Povrchová úprava: 10uin. Ra (25uin. Ra voliteľné)
- Vstupy a výstupy: 1/4" fiting VFS
- Teplotný rozsah: -40 °F až +160℉ (-40 °C až +71 °C)
- Prietoková kapacita: Cv=0.09 (možnosť Cv{1}})
Navrhnuté pre dokonalosť a bezpečnosť
Každý systém dodávky plynu VIGOR je vyvinutý v súlade s najvyššími štandardmi:
- Dizajn a zhoda:Produkty sú v súlade s SEMI S2 a medzinárodnými požiarnymi bezpečnostnými predpismi, pričom bezpečnostné funkcie, ako je núdzové{1}}vypnutie a tlakové alarmy sú integrované.
- Výrobná čistota:Montáž a orbitálne zváranie sa vykonávajú v prostredí čistých priestorov triedy 100 s použitím materiálov s vysokou{1}}integritou, ako sú SS 316L a Hastelloy® C276, aby sa zabezpečila čistota a dlhá životnosť systému.
- Overená integrita:Každá jednotka prechádza prísnym testom tesnosti 100 % héliom, čo zaručuje tesnosť-tesnosti.
